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能將涂層涂布的有無和不均勻可視化的檢測用光源

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? ??“LDF-NB系列”上市

干涉條紋檢測用光源「LDF-NB」系列”、將于 2023 年 6 月 13 日發(fā)售。 ※1:通過多個光的重疊、相互增強或減弱的現(xiàn)象稱為干涉、由該干涉產(chǎn)生的條紋稱為干涉條紋。 「CCS-LT」品牌的 LT 是 Leading Technology 的縮寫、旨在挑戰(zhàn)先進的技術(shù)、并將運用該技術(shù)的產(chǎn)品快速提供 給市場。在與傳統(tǒng) CCS 品牌不同的質(zhì)量管理體系下實現(xiàn)“邊跑邊想”、提出了靈活運用先進技術(shù)的建議。 ■ 產(chǎn)品特點 在制造薄膜、半導體、玻璃等的涂布工序中、為了檢測涂布的不均勻和有無、使用了三波長熒光燈和鹵素燈等 光源。將這些光源照射到涂層面上時、薄膜各層發(fā)生的光的反射會產(chǎn)生干涉條紋、是觀察其狀態(tài)的方法。但是、 這些熒光燈和鹵素燈從能源效率等觀點出發(fā)、制造廠家相繼停止生產(chǎn)、尋求替代光源的市場需求正在提高。 為了滿足這樣的要求、本公司將發(fā)售適用于干涉條紋產(chǎn)生的光譜寬度、使用激光二極管的檢測用光源 LDF-NB 系列。激光二極管發(fā)出的激光波長適合產(chǎn)生干涉條紋、但如果將激光二極管發(fā)出的光直接用于檢測、產(chǎn)生的斑 點噪聲※2 可能會影響檢測。LDF-NB 系列通過獨特的光學設(shè)計降低了散斑噪聲、提高了發(fā)光面的均勻度(已申 請專利)。 ※2:散斑噪聲(speckle noise)…當激光照射到漫射面時、漫射光相互干涉、產(chǎn)生圖像的閃爍。 該系列產(chǎn)品有條型形狀的發(fā)光面尺寸 200mm×20mm、激光的波長有 658nm(紅)、520nm(綠)、450nm(藍)除此之 外還可以混合 658nm、520nm、450nm 的 RGB 的 4 種。另外根據(jù)用途不同、尺寸不同、還可進行平面光類形、同 軸光類形等的特別定制。 CCS 公司今后也將以制造、銷售檢測用光源和電源為核心業(yè)務(wù)、通過使用檢測用相機、鏡頭、圖像判定程序、人工智 能進行檢測等、為實現(xiàn)「看得見」這一目標而提出各種方案、為客戶提供便利、確立不可替代的解決方案供應(yīng)商的 地位。

■ 應(yīng)用例 ?

薄膜和玻璃等的涂層有無、不均勻檢測 ?玻璃貼合的不均勻檢測 ?晶圓上涂層的不均勻檢測

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